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a-C:H膜の内部構造と摩擦特性の相関

発行2017 年(Vol. 62 ) 2 号 122 頁
出典
種別論文
特集
標題a-C:H膜の内部構造と摩擦特性の相関
著者石川功,崔埈豪
論文(PDFファイル)