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天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発―

発行2018 年(Vol. 63 ) 3 号 165 頁
出典
種別解説
特集研削加工にまつわるトライボロジー
標題天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発―
著者池野順一
論文(PDFファイル)