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天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発―
発行 | 2018 年(Vol. 63 ) 3 号 165 頁 |
---|---|
出典 | |
種別 | 解説 |
特集 | 研削加工にまつわるトライボロジー |
標題 | 天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発― |
著者 | 池野順一 |
論文(PDFファイル) | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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発行 | 2018 年(Vol. 63 ) 3 号 165 頁 |
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出典 | |
種別 | 解説 |
特集 | 研削加工にまつわるトライボロジー |
標題 | 天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発― |
著者 | 池野順一 |
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