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FCVA法によるホウ素含有炭素ターゲットを用いたta-C:B膜の成膜および300℃までのトライボロジー特性
発行 | 2018 年(Vol. 63 ) 10 号 699 頁 |
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出典 | |
種別 | 学術論文 |
特集 | |
標題 | FCVA法によるホウ素含有炭素ターゲットを用いたta-C:B膜の成膜および300℃までのトライボロジー特性 |
著者 | 根本公紀,梅原徳次,野老山貴行,村島基之,瀧本裕治,中道健司 |
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