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二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性―膜形成後の真空チャンバ内への乾燥ガス導入効果―

発行	2009 年（Vol. 54 ） 12 号 857 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性―膜形成後の真空チャンバ内への乾燥ガス導入効果―
著者	松田健次,小熊清典,兼田楨宏,池田満昭
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