トライボロジスト検索システム

高加速電子ビームの高速偏向による表面微細加工

発行	2010 年（Vol. 55 ） 2 号 77 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	サーフェステクスチャ加工とトライボロジー
標題	高加速電子ビームの高速偏向による表面微細加工
著者	中島透
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