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原子レベルで平坦な表面の創成技術

発行	2010 年（Vol. 55 ） 3 号 148 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集
標題	原子レベルで平坦な表面の創成技術
著者	佐野泰久,原英之,有馬健太,山内和人
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