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二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性に及ぼすアルゴン分圧の影響―膜形成後の真空チャンバ内への乾燥空気導入効果―

発行	2010 年（Vol. 55 ） 6 号 406 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性に及ぼすアルゴン分圧の影響―膜形成後の真空チャンバ内への乾燥空気導入効果―
著者	松田健次,小熊清典,兼田楨宏,池田満昭
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