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セラミックス硬質薄膜の特性評価

発行	2010 年（Vol. 55 ） 8 号 556 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	セラミックスのトライボロジー
標題	セラミックス硬質薄膜の特性評価
著者	岩井善郎,原亨
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