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ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術

発行	2010 年（Vol. 55 ） 11 号 776 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	微細加工技術とトライボロジー
標題	ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術
著者	松尾二郎,北川晃幸,瀬木利夫,青木学聡
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