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プラズマによる立体形状表面加工の最新動向とトライボロジー

発行	2010 年（Vol. 55 ） 11 号 790 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	微細加工技術とトライボロジー
標題	プラズマによる立体形状表面加工の最新動向とトライボロジー
著者	上坂裕之
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