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超精密研磨/CMP技術とその最新動向（その1）―研磨の発展経緯と加工原理―

発行	2010 年（Vol. 55 ） 11 号 803 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	微細加工技術とトライボロジー
標題	超精密研磨/CMP技術とその最新動向（その1）―研磨の発展経緯と加工原理―
著者	土肥俊郎,黒河周平,大西修,山崎努
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