トライボロジスト検索システム

超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発

発行	2011 年（Vol. 56 ） 3 号 149 頁
出典
種別	解説
特集	“超”を目指す気体軸受技術の最前線
標題	超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発
著者	佐々木勝美,平山朋子
論文（PDFファイル）	本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。