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希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性（第1報）―アークプラズマと原子状酸素ビームを用いた新しい希土類酸化物薄膜の創製―

発行	2011 年（Vol. 56 ） 4 号 264 頁
出典
種別	論文
特集
標題	希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性（第1報）―アークプラズマと原子状酸素ビームを用いた新しい希土類酸化物薄膜の創製―
著者	原田将伍,山本俊介,水本博貴,永井和広,大前伸夫
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