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ナノストライブ構造による新しいパターニング法と潤滑面への適用―自己再生ナノパターンヘの挑戦―
発行 | 2012 年(Vol. 57 ) 8 号 528 頁 |
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出典 | |
種別 | 解説 |
特集 | マイクロ・ナノ工学とトライボロジー |
標題 | ナノストライブ構造による新しいパターニング法と潤滑面への適用―自己再生ナノパターンヘの挑戦― |
著者 | 安藤泰久,三宅晃司,是永敦,間野大樹,中野美紀 |
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