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希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第2報)―イットリウム酸化物薄膜―
発行 | 2012 年(Vol. 57 ) 8 号 560 頁 |
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出典 | |
種別 | 論文 |
特集 | |
標題 | 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第2報)―イットリウム酸化物薄膜― |
著者 | 永井和広,原田将伍,山本俊介,水本博貴,大前伸夫 |
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