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希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第2報)―イットリウム酸化物薄膜―

発行2012 年(Vol. 57 ) 8 号 560 頁
出典
種別論文
特集
標題希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第2報)―イットリウム酸化物薄膜―
著者永井和広,原田将伍,山本俊介,水本博貴,大前伸夫
論文(PDFファイル)