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希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―

発行2013 年(Vol. 58 ) 3 号 179 頁
出典
種別論文
特集
標題希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―
著者木之下博,永井和広,原田将伍,大前伸夫
論文(PDFファイル)