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希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―
発行 | 2013 年(Vol. 58 ) 3 号 179 頁 |
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出典 | |
種別 | 論文 |
特集 | |
標題 | 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜― |
著者 | 木之下博,永井和広,原田将伍,大前伸夫 |
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