トライボロジスト検索システム

DLC膜の製造技術の変遷と動向

発行2013 年(Vol. 58 ) 8 号 545 頁
出典
種別解説
特集硬質炭素膜のトライボロジー
標題DLC膜の製造技術の変遷と動向
著者大原久典
論文(PDFファイル)