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水素含有DLC膜のプラズマCVD成膜技術とその特性

発行	2013 年（Vol. 58 ） 8 号 566 頁
出典
種別	解説
特集	硬質炭素膜のトライボロジー
標題	水素含有DLC膜のプラズマCVD成膜技術とその特性
著者	鈴木雅裕
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