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ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測（第1報）―トルエン原料ガスを用いたバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―

発行	2013 年（Vol. 58 ） 8 号 596 頁
出典
種別	論文
特集
標題	ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測（第1報）―トルエン原料ガスを用いたバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―
著者	崔埈豪,石井啓資,加藤孝久,川口雅弘
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