トライボロジスト検索システム

バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLC成膜

発行	2013 年（Vol. 58 ） 11 号 841 頁
出典
種別	速報論文
特集
標題	バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLC成膜
著者	平田祐樹,朴元淳,崔埈豪,加藤孝久
論文（PDFファイル）	本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。