トライボロジスト検索システム

ナノ積層構造を有する複合硬質膜の合成と特性

発行	2014 年（Vol. 59 ） 1 号 13 頁
出典
種別	解説
特集	複合硬質膜の開発動向と膜特性評価法の現状
標題	ナノ積層構造を有する複合硬質膜の合成と特性
著者	山本兼司
論文（PDFファイル）	本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。