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複合硬質膜の残留応力の評価―X線回折法による応力評価―

発行	2014 年（Vol. 59 ） 1 号 19 頁
出典
種別	解説
特集	複合硬質膜の開発動向と膜特性評価法の現状
標題	複合硬質膜の残留応力の評価―X線回折法による応力評価―
著者	田中啓介
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