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複合硬質膜の新しい特性評価法―MSE：マイクロスラリージェットエロージョン試験―

発行	2014 年（Vol. 59 ） 1 号 32 頁
出典
種別	解説
特集	複合硬質膜の開発動向と膜特性評価法の現状
標題	複合硬質膜の新しい特性評価法―MSE：マイクロスラリージェットエロージョン試験―
著者	岩井善郎,松原亨,勝俣力
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