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酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析 ―砥粒のFT-IR・XPS測定による考察―

発行	2014 年（Vol. 59 ） 12 号 744 頁
出典
種別	解説
特集	化学機械研磨の最新技術
標題	酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析 ―砥粒のFT-IR・XPS測定による考察―
著者	佐藤誠
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