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量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明

発行	2014 年（Vol. 59 ） 12 号 780 頁
出典
種別	解説
特集	化学機械研磨の最新技術
標題	量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明
著者	河口健太郎,會澤豪大,樋口祐次,尾澤伸樹,久保百司
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