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ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測（第2報） ―種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―

発行	2017 年（Vol. 62 ） 3 号 228 頁
出典
種別	論文
特集
標題	ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測（第2報） ―種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―
著者	崔埈豪,日比貴之,古野晃久,川口雅弘,加藤孝久
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