トライボロジスト検索システム

反射分光法によるカーボン系硬質膜の摩擦面構造変化層のその場評価装置

発行	2017 年（Vol. 62 ） 7 号 461 頁
出典
種別	技術資料
特集	トライボツール開発記 ―ブレイクスルーへの挑戦―
標題	反射分光法によるカーボン系硬質膜の摩擦面構造変化層のその場評価装置
著者	西村英典,上坂裕之,梅原徳次
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