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天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発―
| 発行 | 2018 年（Vol. 63 ） 3 号 165 頁 |
|---|---|
| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 研削加工にまつわるトライボロジー |
| 標題 | 天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発― |
| 著者 | 池野順一 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 2018 年（Vol. 63 ） 3 号 165 頁 |
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| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 研削加工にまつわるトライボロジー |
| 標題 | 天然砥石のトライボロジー ―半導体結晶材料のための積層砥石開発― |
| 著者 | 池野順一 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |