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FCVA法によるホウ素含有炭素ターゲットを用いたta-C:B膜の成膜および300℃までのトライボロジー特性

発行	2018 年（Vol. 63 ） 10 号 699 頁
出典
種別	学術論文
特集
標題	FCVA法によるホウ素含有炭素ターゲットを用いたta-C:B膜の成膜および300℃までのトライボロジー特性
著者	根本公紀,梅原徳次,野老山貴行,村島基之,瀧本裕治,中道健司
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