トライボロジスト検索システム

MEMS技術を用いたマイクロニードルの作製

発行	2021 年（Vol. 66 ） 10 号 738 頁
出典
種別	解説
特集	微細構造の作製技術とその応用
標題	MEMS技術を用いたマイクロニードルの作製
著者	式田光宏,長谷川義大
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