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接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 ―測長原子間力顕微鏡を用いた事例―
発行 | 2022 年(Vol. 67 ) 11 号 758 頁 |
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出典 | |
種別 | 解説 |
特集 | トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向 |
標題 | 接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 ―測長原子間力顕微鏡を用いた事例― |
著者 | 三隅伊知子 |
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