トライボロジスト検索システム

接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 ―測長原子間力顕微鏡を用いた事例―

発行2022 年(Vol. 67 ) 11 号 758 頁
出典
種別解説
特集トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向
標題接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 ―測長原子間力顕微鏡を用いた事例―
著者三隅伊知子
論文(PDFファイル)