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ポイントオートフォーカス法による非接触表面性状測定の技術動向 ―触針式とのデータ相関性と傾斜面の粗さ測定―

発行	2022 年（Vol. 67 ） 11 号 764 頁
出典
種別	解説
特集	トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向
標題	ポイントオートフォーカス法による非接触表面性状測定の技術動向 ―触針式とのデータ相関性と傾斜面の粗さ測定―
著者	三浦勝弘
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