トライボロジスト検索システム

白色干渉計による非接触式表面粗さ測定の技術動向

発行	2022 年（Vol. 67 ） 11 号 770 頁
出典
種別	解説
特集	トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向
標題	白色干渉計による非接触式表面粗さ測定の技術動向
著者	佐藤慶一
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