トライボロジスト検索システム
ナノ異物欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法開発の最新動向
| 発行 | 2022 年（Vol. 67 ） 11 号 776 頁 |
|---|---|
| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向 |
| 標題 | ナノ異物欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法開発の最新動向 |
| 著者 | 高橋哲 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 2022 年（Vol. 67 ） 11 号 776 頁 |
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| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向 |
| 標題 | ナノ異物欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法開発の最新動向 |
| 著者 | 高橋哲 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |