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真空装置の排気過程における残留気体分子の挙動
発行 | 1969 年(Vol. 14 ) 6 号 281 頁 |
---|---|
出典 | トライボロジスト |
種別 | 総説 |
特集 | |
標題 | 真空装置の排気過程における残留気体分子の挙動 |
著者 | 辻泰 |
論文(PDFファイル) | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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発行 | 1969 年(Vol. 14 ) 6 号 281 頁 |
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出典 | トライボロジスト |
種別 | 総説 |
特集 | |
標題 | 真空装置の排気過程における残留気体分子の挙動 |
著者 | 辻泰 |
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