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真空装置の排気過程における残留気体分子の挙動

発行	1969 年（Vol. 14 ） 6 号 281 頁
出典	トライボロジスト
種別	総説
特集
標題	真空装置の排気過程における残留気体分子の挙動
著者	辻泰
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