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真空用玉軸受ユニットの長寿命化および大口径高速化

発行	2024 年（Vol. 69 ） 11 号 763 頁
出典
種別	技術論文
特集
標題	真空用玉軸受ユニットの長寿命化および大口径高速化
著者	横山崇,間庭和聡,小原新吾,美佐田泰治,加藤弘之,山川和芳
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