トライボロジスト検索システム

第一原理計算とAIを融合したニューラルネットワークポテンシャルによる化学機械研磨シミュレーションの新展開

発行	2025 年（Vol. 70 ） 5 号 271 頁
出典
種別	解説
特集	化学機械研磨とトライボロジー
標題	第一原理計算とAIを融合したニューラルネットワークポテンシャルによる化学機械研磨シミュレーションの新展開
著者	平川皓朗,奥野好成
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