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触媒表面基準エッチング法を用いた高分子材料の高精度平滑化

発行	2025 年（Vol. 70 ） 5 号 289 頁
出典
種別	解説
特集	化学機械研磨とトライボロジー
標題	触媒表面基準エッチング法を用いた高分子材料の高精度平滑化
著者	藤大雪,萱尾澄人,山内和人,佐野泰久
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