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化学機械研磨後の洗浄に使用される柔軟親水性高分子スポンジと摩擦

発行	2025 年（Vol. 70 ） 5 号 295 頁
出典
種別	解説
特集	化学機械研磨とトライボロジー
標題	化学機械研磨後の洗浄に使用される柔軟親水性高分子スポンジと摩擦
著者	真田俊之,小篠諒太
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