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両面研磨におけるトライボロジー ―加工中の加工物挙動と形状推移―
| 発行 | 2025 年（Vol. 70 ） 5 号 301 頁 |
|---|---|
| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 化学機械研磨とトライボロジー |
| 標題 | 両面研磨におけるトライボロジー ―加工中の加工物挙動と形状推移― |
| 著者 | 橋本洋平 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 2025 年（Vol. 70 ） 5 号 301 頁 |
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| 出典 | |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 化学機械研磨とトライボロジー |
| 標題 | 両面研磨におけるトライボロジー ―加工中の加工物挙動と形状推移― |
| 著者 | 橋本洋平 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |