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欠陥構造を持つ二硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦による構造変化

発行	1975 年（Vol. 20 ） 5 号 355 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	欠陥構造を持つ二硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦による構造変化
著者	伊藤忠義,多賀康訓,中島耕一
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