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イオンプレーティング金,銀膜の摩擦,摩耗特性に関する研究(第3報)―イオンプレーティング金膜と真空蒸着およびスパッタリング金膜との比較―
発行 | 1978 年(Vol. 23 ) 1 号 59 頁 |
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出典 | トライボロジスト |
種別 | 論文・寄書 |
特集 | |
標題 | イオンプレーティング金,銀膜の摩擦,摩耗特性に関する研究(第3報)―イオンプレーティング金膜と真空蒸着およびスパッタリング金膜との比較― |
著者 | 宮川行雄,西村允,野坂正隆,宮脇雄三 |
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