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スペックル・パターンによる表面粗さ測定

発行	1981 年（Vol. 26 ） 2 号 73 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	スペックル・パターンによる表面粗さ測定
著者	魚住純,朝倉利光
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