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スパッタ法による二硫化モリブデン膜の摩擦特性(1)―膜の作製法と性質―

発行1981 年(Vol. 26 ) 8 号 517 頁
出典トライボロジスト
種別展望・総説・解説
特集
標題スパッタ法による二硫化モリブデン膜の摩擦特性(1)―膜の作製法と性質―
著者松永正久
論文(PDFファイル)