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活性化反応性蒸着法による炭化チタン斜め蒸着膜の構造と耐摩耗性

発行	1982 年（Vol. 27 ） 2 号 119 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	活性化反応性蒸着法による炭化チタン斜め蒸着膜の構造と耐摩耗性
著者	山中一司
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