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酸化アルミニウムスパッタ膜の摩擦摩耗特性

発行	1983 年（Vol. 28 ） 11 号 831 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	酸化アルミニウムスパッタ膜の摩擦摩耗特性
著者	河野正来,桑原改造
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