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磁性流体を用いた高性能研磨法の開発

発行	1985 年（Vol. 30 ） 7 号 472 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	磁性流体を用いた高性能研磨法の開発
著者	谷泰弘,阿田研治
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