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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第1報）―通常方式および両面方式による被膜の潤滑特性の比較―

発行	1985 年（Vol. 30 ） 9 号 671 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第1報）―通常方式および両面方式による被膜の潤滑特性の比較―
著者	西村允,野坂正隆,鈴木峰男,宮川行雄
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