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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第2報）―被膜の観察と分析―

発行	1985 年（Vol. 30 ） 11 号 830 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第2報）―被膜の観察と分析―
著者	西村允,宮川行雄
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